半導體企業應用超純水設備項目正式運行

　　一、項目名稱

　　江陰某半導體企業應用超純水設備項目

　　二、項目背景

　　半導體材料是半導體產業鏈上游中的重要組成部分，在集成電路、分立器件等半導體產品生產制造中起到關鍵性的作用。目前全球的半導體產業鏈正向中國大陸轉移，中國晶圓廠擴產的步伐已逐漸加快。伴隨著國內晶圓廠的投產，將產生更多半導體材料的需求，市場需求空間已被打開，由于半導體元件集成度高，生產線窄，對水質的要求特別高，超純水成為了電子行業用水的“標配”。

　　三、項目工藝

　　自來水進入原水箱，通過原水泵增壓，經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經兩級反滲透過濾進入EDI單元，達到電阻率15MΩ·cm(25℃)進入純水水箱。純水供水設計為循環方式，經純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床接入純水供水管，到達使用點。

　　四、設備公共條件需求

　　1、原水要求：進水水量≥13m3/h，進水壓力0.3-0.4MPa(恒壓)。

　　2、電源要求：電壓：380V 50Hz和220V 50Hz。

　　3、排水要求：設備附近1米需要業主提供排水溝或者排水管。

　　4、設備間要求：設備間溫度15-35℃，通風和照明設備。

　　5、氣源要求：氮氣≥99.999%

　　6、工程范圍：設備進出水口1米處。

　　五、萊特萊德超純水設備設計原則

　　1、采用先進、實用、可靠的水處理技術，確保處理后的水穩定達標。嚴格執行國家環保政策，符合國家有關法律、法規、標準、規范以及地方法規;

　　2、根據進出水要求，選用成熟可靠、高效節能、占地少、經濟實用的處理工藝，確保處理效果，減少項目投資及日常費用;

　　3、工藝流程簡潔通暢，整體布置簡潔、合理、美觀符合廠區統一規劃，要求水處理設施布局與周邊環境協調，不對周邊環境造成二次污染;

　　4、控制總體投資，工程造價合理，保證長期安全平穩運行，降低日常運行成本;

　　5、管線合理布置充分利用現有的設置及現有的地形條件;處理施設整體工程施工周期短，安裝、檢修方便，易于管理;安全措施得當，避免隱患。

　　6、各功能模塊優化組合而成，從而保證了整個系統的高性能與高質量，使產品水完全達到甚至優于用水水質標準。

　　7、在保證系統穩定、可靠運行的前提下，設計上提高整個系統的自動化水平;主要設備選擇以先進、成熟為原則，盡量降低工程投資和運行費用。

　　萊特萊德超純水設備中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比。